目前，该型号设备处于国内先进水平，开放共享后，可实现化学元素及原子价态精确定性与定量分析，增强了国重实验室开展材料基础研究工作的能力。xps检测分析室按照国家标准化实验室建设，一次性通过技术验收，为我校大型仪器共享平台建设树立了典范。

设备名称：AXISSUPRAX射线光电子能谱仪

产地及厂家：岛津（英国KRATOS公司）

购买日期：2019

存放地点：重点实验室南楼115

设备简介：

1、设备功能

主要用于材料表面元素定性、定量分析及化学状态识别。在材料科学、凝聚态物理学、环境生态学、分子生物学、电子结构的基本研究、薄膜分析、半导体研究和技术、电子结构和化学键、异相催化、腐蚀和钝化、分凝和表面迁移、分子吸附和脱附研究等领域有广范应用。主要检测样品类型包括：金属、无机非金属、有机高分子材料等各种固体材料。

2、技术指标

(1)靶材：配置最大功率600 W Al/Ag单色双阳极靶；

(2)单色器：石英晶体单色器，罗兰圆直径500 mm；

(3)轴向：5轴样品台，即X、Y、Z移动，绕轴和绕样品面法线转动；

(4)移动：X方向150mm，Y方向30mm，Z方向18mm；

(5)最大扫描面积：5mm×5mm；

(6)离子能量：100eV～5keV连续可调；

(7)束斑大小：200µm～1.5mm连续可调；

(8)能量扫描范围：-10eV～3200eV（XPS）/0eV～65eV（UPS）；

(9)最小扫描能量步长：3.125meV（XPS）/ 1meV（UPS）；

(10)谱仪控制：全计算机自动控制。