设备名称：高精度凹坑仪

                                                         设备型号：Gatan 656

                                                         制造商：美国Gatan公司

                                                         地点：重点实验室南楼 105室

                                                         管理人：翟海民

设备简介：Gatan 656型Dimple Grinder（凹坑仪）是一种能在金属陶瓷、半导体、金属材料和它们的复合材料上产生一个圆坑（圆片状或平底状）的精确仪器，主要应用于TEM样品的前期减薄制备。该设备科可以保证样品中心区域厚度减少且更加均匀，并在随后离子减薄过程中将会大大缩短减薄时间。对大部分金属材料，样品中心减至20 µm，而金属陶瓷、半导体等材料在不机械损坏的条件下可得到低于3 µm的薄区。