设备名称:电子探针分析仪
设备型号:EPMA1600
制造商:日本岛津公司
地点:重点实验室北楼 110室
管理人:马吉强
一、设备介绍
EPMA-1600电子探针采用聚焦的高能电子束轰击样品表面,激发出样品表面的元素的特征X射线,按其波长及强度对固体表面微区成分进行定性及定量分析。该仪器具有高灵敏度、高精确度、高自动化, 高稳定性及快速的特点,主要应用于表面科学, 材料科学及高科技产业生产等方面。
二、技术参数
电子光学系统电子枪:W灯丝
加速电压:0~30kV
放大倍数:×50~×400,000
光学分辨率:1μm
成份分析系统
分析元素范围:4Be~92U
人工智能定性分析
有标样定量分析误差<2%
无标样定量分析误差<5%
三、主要功能
电子探针是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器,可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。主要用于金属材料、非金属材料的元素线分析、面分析、点分析。