设备名称：JSM-6700F冷场发射扫描电子显微镜

                                                           设备型号：JSM-6700

                                                           制造商：日本电子株式会社

                                                           地点：重点实验室北楼 111室

                                                           管理人：马吉强

一、设备介绍

      JSM-6700F冷场发射扫描电子显微镜采用冷阴极场发射枪、超高真空和精密的数字技术，具有二次电子图像分辨率高、放大倍数连续可调、景深大等特点，对各种固体材料的表面形貌和表面结构进行观察和分析。其配件X射线能谱仪具有微区分析功能，对固体材料的元素组成进行定性和定量分析。广泛应用于材料科学、生物医学、地质矿产等方面。

二、技术参数 

    １．二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15 KV）；2.2nm（加速电压1 KV）

    ２．放大倍数：：×25-×19000（ＬＭ模式）；×100-×650000（ＳＥＭ模式）

    ３．样品台尺寸：12.5-26mm。

    ４．试样移动范围Sample movement range：

          X方向：0-70mm； Y方向：0-50mm；Z方向：1.5-25；旋转角度： 360°

    ５．加速电压：0.5-30ＫＶ

    ６．探针电流：10-13 -2 × 10-9A

    ７．图像模式：SEI，COMPO，TOPO

三、主要功能

     主要用于纳米材料显微结构、尺寸分析 ，材料微结构、相组成及相分布分析 ，材料中元素定性分析、定量分析、线分析、面分析、材料失效分析。