设备名称：热场发射扫描电子显微镜

                                                           设备型号：QUANTA FEG-450

                                                           制造商：美国FEI

                                                           地点：重点实验室北楼 102室

                                                           管理人：任军强

一、设备介绍

      Quanta FEG 450扫描电子显微镜可以提供各种样品的高分辨电子图片，其放大倍数超过10万倍以上。试样要求少，并且能够与X射线结合分析，因此被广泛的应用于各种特殊领域。通过增加EDS和EBSD分析扩展其分析能力，同时可以在高温或低温环境下进行不同样品的原位、动态观察和分析。

二、技术参数

     1. 分辨率

        高真空: 1.0 nm/30 kV (SE); 2.5 nm/30 kV (BSE); 3.0nm/1 kV (SE)

        高真空减速模式: 7.0 nm at 3 kV

        低真空: 1.4 nm/30 kV (SE); 2.5 nm/30 kV (BSE); 3.0 nm/3 kV (SE)

        环境真空模式 (ESEM):  3.0 nm at 30 kV (SE)

     2.电子光学

        加速电压: 200V ~ 30kV

        探针电流: 可达2 µA, 连续可调

        放大倍数: 20× ~ 1000000×

        工作距离: WD=10 mm

     3.样品台移动范围

        X/Y=100mm，Z=60mm， T = -5°到 +70°，R = 360°

     4.真空度

       样品室真空(high) < 6E-4 Pa

三、主要功能

      该设备通过电子束扫描样品表面来研究材料的表面形貌、进行化学成分的分析或者其他性能；能谱仪具备定性和半定量元素检测功能，能与电镜主机系统配合实现元素线扫描和面扫描分析功能；实现材料的原位拉伸。